Власти потратят 1,3 млрд рублей на ИИ для контроля производства чипов

Дата публикации: 09-06-2026 15:09:00

Ведомство запускает разработку автоматизированной установки
для контроля процесса ионного легирования полупроводниковых пластин диаметром
до 200 мм. Система на базе искусственного интеллекта должна заменить
американские установки KLA-Tencor.

Основное содержимое страницы с новостью.

Ведомство запускает разработку автоматизированной установки для контроля процесса ионного легирования полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Система на базе искусственного интеллекта должна заменить американские установки KLA-Tencor.

Контроль легирования

Как выяснил CNews, Минпромторг выделил 1,38 млрд руб. на ОКР изготовление опытного образца автоматизированной установки контроля процесса ионного легирования в структурах полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм (шифр «Контроль-ИИ»).

Установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630). Эти системы используются для контроля доз легирования — ключевого процесса внедрения примесей в полупроводниковые пластины для создания транзисторов и диодов. Прямых отечественных аналогов не существует.

Тендер в формате открытого конкурса опубликован 1 июня 2026 г., следует из портала госзакупок.

С помощью ИИ

Искусственный интеллект в этой установке используется для автоматического распознавания топологического рисунка на продуктовых пластинах. Система с помощью видеопроцессора и камеры находит метки или произвольный рисунок топологии, выравнивает пластину и точно позиционируется на измеряемый объект.

Кроме того, ПО на базе технологий ИИ строит калибровочные кривые сигнала термических волн от параметров имплантации, автоматически определяет и рассчитывает уровень имплантационной дозы, а также компенсирует искажения при измерении через слои диэлектриков.

Программное обеспечение должно обеспечивать автоматический поиск области исследования по координатам или маркерам, ведение статистики по партии (среднее, отклонение, гистограммы, карты отклонений) и поддержку подключения к системам автоматизации по протоколам SECS/GEM.

Что должно быть разработано

Исполнитель должен создать автоматизированную установку для контроля ионного легирования на мониторных и продуктовых (с готовой топологией) пластинах диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец изготавливается для пластин 200 мм.

Контролируемые легирующие примеси — бор, фосфор, мышьяк, индий, сурьма и другие.

Среди технических требований: локальность измерения — 1 микрометр, обнаружительная способность дозы — не более 3%, скорость обработки — не менее 10 пластин в час при измерении 9 точек на пластину. Привносимая дефектность — не более 10 частиц размером от 0,12 микрометра на пластину 200 мм.

В основе работы установки — метод термических волн, когда лазер накачки возбуждает поверхность пластины, а зондирующий лазер регистрирует отклик. По этому сигналу система рассчитывает дозу легирования.

Отечественные компоненты

Критические комплектующие — оптический стол, источники лазерного излучения, оптическая система, фоточувствительные детекторы, механизмы загрузки и позиционирования пластин, центральный контроллер и программное обеспечение — должны быть российского производства.

Применение иностранных комплектующих допускается только при наличии обоснования в техническом проекте и письменного согласования с Минпромторгом.

Работы по ОКР должны быть выполнены до октября 2029 г.

• Подобрать оптимальный тариф на IaaS на ИТ-маркетплейсе CNewsMarket среди десятков поставщиков

Схожие новости

#	Наименование новости	Тональность	Информативность	Дата публикации
1	«Дочка» «Росатома» получит больше миллиарда за установку для контроля производства чипов	0	7	15-07-2026
2	Искусственный интеллект планируют внедрить в колониях для контроля за осужденными	0	0	05-05-2021
3	НЛМК внедрил систему оптимизации расхода ферросплавов на основе искусственного интеллекта	0	0	02-04-2020
4	«Дочка» «Росатома» создаст отечественную установку для чипов за четверть миллиарда	0	7	03-07-2026
5	Пульт диспетчера ОВД	0	0	13-03-2018
6	СМИ: Центральный блок "Союза" разгерметизировался при аварии	0	0	12-10-2018
7	Билибино: Вечер 31 окт, Ср	0	0	30-10-2018
8	Большое Солдатское: Вечер 7 сен, Пт	0	0	07-09-2018
9	Россияне назвали доход, необходимый им для достойной жизни: 50-80 тысяч рублей	0	0	26-04-2021
10	Уважаемые односельчане ! В преддверии празднования 80 - летия Великой ...	0	0	21-02-2025

Классификация: Экономика. Схожих патентов: 0. Схожих новостей: 10. Тональность: 0. Информативность: 7. Источник: cnews.ru.