У Китая появилась своя литография в глубоком ультрафиолете
Секретная компания с государственным финансированием поставит CXMT, SMIC и другим заказчикам пять DUV-сканеров собственного производства уже в этом году, и 20 — в следующем. По качеству они пока уступают аналогам ASML, но это первый реальный шаг к независимости китайской полупроводниковой отрасли.
Иммерсионная технология DUV позволяет создавать элементы полупроводников по 28-нм техпроцессу за один цикл экспозиции и достигать 7 нм за счёт многократного нанесения рисунка, но с увеличением количества ошибок совмещения слоёв и снижением выхода годных изделий.
Присоединяйтесь к нам:
🔻 Группа VK: vk.ru/box_movie_new (Тематика: 👉 Фильмы)
🔻 Группа VK: vk.ru/club235598284 (Тематика: 👉 Космос)
🔻 Группа VK: vk.ru/club236246972 (Тематика: 👉 Ферма CS)